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微纳制造(影印版)

微纳制造(影印版)
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关于微纳制造(影印版) 的简介:

  纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
  本书内容丰富,讲解透彻,是一本相关领域电子工程师、材料科研工作者开发微纳米材料应用的全面的指南,同时也可作为微纳米机械和微纳米技术专业研究生的参考书。

编辑推荐:

  纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
  本书内容丰富,讲解透彻,是一本相关领域电子工程师、材料科研工作者开发微纳米材料应用的全面的指南,同时也可作为微纳米机械和微纳米技术专业研究生的参考书。

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图书目录:


Preface
1. Principles of Micro-and Nanofabrication
1.1 Introduction
1.2 Material Removal Rates
1.3 Conclusions
1.4 Problems
……
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